氮?dú)浠旌蠚庠陔娮悠骷a(chǎn)中的應(yīng)用

在電子器件生產(chǎn)工藝中．廣泛使用了各種高純氣體．按工藝中高純度氣體的不同用途，可將其分為保護(hù)氣、反應(yīng)氣和載氣.
用作保護(hù)氣的有氫氣、氮?dú)狻⒀鯕饧捌浠旌蠚猓趪?guó)內(nèi)為獲取氫氣和氨氣，為獲得較高純度的氫氣，一般都采用電解純水的方法制取．這種方法需用大量電能來(lái)電解水，一般達(dá)4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高，為減少電能消耗，降低成本，都在研制和應(yīng)用各種混合氣．其中，以應(yīng)用氮－氫混合氣較多．國(guó)外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮?dú)浠旌蠚猓灿胁捎靡旱纸夥ǐ@得氮?dú)浠旌蠚獾模?/span>